元旦的时候陆见他们跑去光学研究所参加了光刻机还有蚀刻机的项目组的会议,会议上人很多,他们计算机研究所领头的是霍所长,他们这次也是要出不少力的,不过这次研究主要出力的人还是光学研究所这边的人,陆见他们主要负责的是控制程序这一块。
会议开得非常热闹,才进行没多久就有人吵起来了,不过他们说的都是光学相关的技术,和陆见他们的没有很大关系,跟着陆见过来的不少人都有些听不懂。陆见之前看过不少光学相关的书,倒是差不多能听懂,但如果让他说出个什么来的话就完全不行了。只能耐心仔细的听着,毕竟这是一个项目组,不少研究都是有联系的,多一些了解对后面的研究也有好处,会让他们设置的控制程序更合适。
第262章
光刻机的研究要比蚀刻机复杂多了,所以这个研究的重心还是放在光刻机的研究上面的。
这一次光学研究所的目标还是非常大了,想直接将步进扫描投影曝光机,准备将集成电路图形的线宽缩小到035μ的节点。波长能达到193n,光学光刻分辨率争取能达到70n的极限,目标很宏大,自然需要的时间也不少。
限制芯片大小的主要关机就是在于光刻系统能获得的分辨率有关,而提升分辨率最有效的方法就是减小照射光源的波长,因此这个项目的关键就是开发和寻找新型的短波长的光源,研究不同的光源本来就是光学研究所的重要任务,所以这一次他们项目的重点也就是找到只有193n甚至是要比这个数字更短的光源。
而这项任务除了本身的研究实力,大量的实验之外,自然还需要不少运气了,陆见倒是记得光刻机的几种光源,大概是激光、紫外光、深紫外光,还有极紫外光,而极紫外光是后世最先进的光源技术,只可惜陆见也就知道些名字,前世的时候并不是很了解,他近段时间倒是补充了不少光学知识,但是后面这些光源不是还没有被研发出来,就是应用方面还有很多问题,所以现在的光刻机使用的还是激光。
陆见坐在霍所长的边上,耳中听着那些人的话,一边的霍所长也听得有些无聊,现在还没有提到他们的部分,他不像陆见一般,这次过来的原因主要就是因为这个是三个单位的合作项目,他过来算是重视,具体任务还是交给陆见他们去做的,所以他就只是听着。他本来的位置不在陆见这边,是他强烈要求才做过来的,按他的说法反正我都没有什么话要说,哪里需要坐这么后面。
不过一边的陆见倒是一直在记着笔记,趁着中场休息的时候霍所长抢过陆见的笔记本,仔细看了起来,还真是有模有样啊。他不由得啧啧两声,有些感兴趣地说:“这个笔记记得挺详细的啊?”
陆见被他抢了笔记本也不着急,将钢笔收好,笑着对他道:“他们说得挺好的,能学到不少东西。”
霍所长看了一会,“你这笔记里面的记得东西都是关键要点,看来之前做过不少功课啊?”
陆见也没隐瞒,“这不是要研究光刻机嘛,这个项目关键是光源,所以我就多了解了一些。”
霍所长总觉得似乎有些不对劲,正准备说话,突然就有一个走到他后面将他手中的笔记本给抢了过去,霍所长和陆见回头望过去,却是一个头发发白的老人,他有些矮,不,应该说很矮,背有些驼,看着只有一米六的样子,不过身上的气势倒是挺足的。真是会议一开始在台上说话的光学研究所所长,莫季明。
他抢过笔记本就仔细看了起来,霍所长则是有些无语地白了他一眼,“好你个莫老头,你是什么东西都要抢是吧,赶紧还回来。”说话见他就站了起来,伸手就要将那个笔记本抢过来。
莫所长麻利地躲过了他的手,完全就不像是一个已经六七十岁的老人了,陆见也站了起来,喊了一声莫所长之后就默默站在那了,不过他还是比较关注他们的,免得他们打闹要是有那一个摔倒就不好了。
莫所长都不带搭理霍所长了,直接站远了些,让霍所长够不到他,他们坐的位置是连在一起的,椅子的靠背倒是挺高的,所以霍所长一时还真出不来,见他这样只能有些无奈地看着他,“哎,姓莫的,哪有不问自取的,赶紧还回来。”
霍所长也不知道怎么回事,总觉得有些心慌,这个莫季明看什么呢,不都是刚才讲的一些东西吗?还能看出花儿来不成。
莫所长态度很淡定,连动作都是不紧不慢的,他看了一眼霍所长,之后他又看向了陆见,语气很平淡地问陆见,“你应该就是陆见吧?”
陆见点头。
“这个笔记本是你的?”
陆见还没有继续点头,霍所长就连忙道:“是谁的关你什么事?赶紧还回来吧。”
莫所长还是不理会他,心中已经知道答案了,“看来就是你的,上面这些东西都是你写的吧?”莫所长已经将陆见的笔记本翻到了前面的部分,上面不少都是陆见看过那些光学书籍之后的想法。莫所长看着陆见的眼睛里面带这些兴味,显然是对陆见的笔记本很感兴趣。
“是我写的,之前看了一些光学相关的书,勉强有一些想法。”虽然不知道这位莫所长要做些什么,所以陆见还是很有礼貌地回答他的话。
霍所长倒是对这个莫所长有些了解,自然知道他不是一个说闲事的人,总觉得他看着陆见的目光里面带着些热切,在他看来这莫老头就是不怀好意,他连忙道:“莫老头,你还是赶紧去去喝个水什么的吧?这会议可没有多久就要继续开始了。”
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