“我自己设计的。”

骆垚的眼睛和杨明的眼睛开始对视。

骆垚眼中一丝情绪都没有，杨明看不穿骆垚的想法，但直觉告诉他这事如果真是骆垚干出来的，那可以入选天方夜谭故事集选了。

杨明试探的问道：“小同志，这事情可不能开玩笑，EUV光刻机光源系统这套技术现在连斯喀戎那边都没有掌握，你确定是你自己设计的？”

骆垚早就知道对方有此一问，所以很快地说起了原理：“光刻机一般分两种，一种是DUV，而另一种就是EUV，DUV使用的光源波长是193纳米，而EUV使用的是13.5纳米波长的光源。”

“根据瑞利判据R=D1.22，可以得出，光学系统能够分辨的尺寸和波长成正比。”

“所以如果要制造更小尺寸的芯片，就需要更短波长的光，也就是EUV的光源。”

“实际上我们都知道EUV的光源使用的还是193纳米的光，但是用它去连续击打两次液态金属锡，就能得到13.5纳米的光。”

“截止到这里都很简单，不过最难的是它的光路系统中的零件，也就是透镜。”

杨明边听边点头。

透镜的成本占到了整个光刻机的40%左右，成本相当高昂。

光刻机的透镜就跟照相机镜头，由不同形状的镜片组成。

如果想更好的理解光刻机，也可以说它是一台大型的照相机。

不同的是，普通的照相机是来拍妹子的，而光刻机则是用来把集成电路图形通过曝光显影的原理，复制到晶圆上。

所以透镜就和照相机镜头一样，主打就是一个贵字。

就是打月亮的神镜头，都要叫光刻机透镜一声爸爸。

光刻机上面现在有二十多块透镜，现在能造出来的只有三家国外工厂，华国这边则还在研发中。

“当初这透镜就难倒了我们，长机那边产的透镜，透光率和光滑程度再怎么做也做不到外国那样，光源在上面反射出来的效果根本没法用。”

杨明说到这个事情就觉得伤心。

“70年代我们没有搞半导体真的失去太多了。”

杨明感叹道。

骆垚看着杨明那一张满藏遗憾的脸，想了想，决定摊牌了：“透镜的技术难点其实都在这个硬盘里面。”

说着，骆垚将他的红色硬盘拿了出来，放在了会议桌上。

会议室内其他四个人都看着桌上的红色硬盘，默不出声。

顶尖的透镜技术都在红色硬盘里面？

这怎么可能？

就在大家犹豫的时候，饶慧灵坐不住了，她伸手拿过了硬盘。

“我们先来看看再说。”

饶慧灵拿过电脑接入硬盘，开始看了起来，不一会儿她就不可思议地看着屏幕说：“透镜的光学晶体极为特殊，只有高纯稀土卤化物中晶体成品的性能才能符合要求。”

“骆垚，这一条你是怎么得出来的？”

“计算。”

“每一种稀土的晶体影响结果我都进行过计算，最终锁定了高纯稀土卤化物。”

……

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